金属の表面処理でアルミ、非鉄金属、ステンレスなどの金属材料に適した平面研磨(ワークの平面部分に対して研磨を施す加工で定盤は通常マグネット使用になっており磁性があるワークに対しては電磁チャッキングにより直接的なワークの保持が可能となり、磁性が無いワークの場合はサブテーブルを使用するか治具を使用してワークを保持する)をするサーフェイス研磨とは丸角部品の端面や精度の高い金属の表面加工のことを言い、研磨機は使用すると粉塵と同時に大量の火花が飛びますがこの温度は90.0~1000℃くらいに達するのでバイト研磨のように工具研磨では量的にさほど問題になりませんがサーフェイス研磨など連続的に広い面を研磨する場合はその火花も多量になります。
研磨の仕上がりで言えば、側面サーフェイス研磨品で上下面は素材肌の4G、上下面サーフェイス研磨品で側面はフライス加工の4F2G、6面サーフェイス研磨品の6Gなどの種類があり、その面のサーフェイス研磨によって高精度研磨プレートや研磨プレート、ワイヤーカット用プレート、水穴・ヒータ穴加工付などのスチールプレート仕上げの加工を施し、他にロータリー研磨やフライス加工が挙げられ、それぞれの仕上がり面粗度が違ってきますが例えば銅・真鍮系で言えば、精度基準において平面度(100mmに対して)T8mmの場合にフライスは0.1に対しサーフェイス研磨(以下サーフェイスと略)は0.03、T30mm以上はフライス0.05でサーフェイス0.012、板厚平高度(100mmに対して)フライス0.05でサーフェイスは0.012となり、面粗さはフライス側面・上下面仕上げで6.3a、サーフェイス側面・上下面共に1.6a、寸法公差でいえば仕上げ方法が標準で係数1.0の場合でフライスが±0.1に対してサーフェイスは±0.05、係数1.5の精級でフライス±0.05、サーフェイス±0.02、係数2.0の超精級に於いてはサーフェイス±0.01となります。